00652687-ART. XLS-25-5D-Q

La serie XL di valvole angolari per alto vuoto offre eccellenti risultati di conducibilità termica, che determinano una temperatura uniforme per l’intero corpo della valvola e una marcata riduzione della condensazione dei gas all’interno della valvola. La valvola non contiene metalli pesanti come Ni (nichel) o Cr (cromo) e un basso rendimento di sputtering contribuisce inoltre a ridurre al minimo la contaminazione da metalli pesanti dei wafer semiconduttori.